国家知识产权局信息显示,上海稷以科技有限公司申请一项名为“半导体刻蚀用气体扩散板及气体控制方法”的专利,公开号CN121306889A,申请日期为2025年9月。
专利摘要显示,本发明提出了一种半导体刻蚀用气体扩散板及气体控制方法,该气体扩散板包括:金属扩散组件,其上设有沿Z向贯通金属扩散组件的金属孔;及石英扩散组件,设置于金属扩散组件的上表面,其包括上石英板、与上石英板连接的下石英板;上石英板,其上开设沿Z向贯通上石英板的上气孔,若干个上气孔沿X向排列;下石英板,其上开设沿Z向贯通下石英板的下气孔,若干个下气孔沿X向排列;上气孔与下气孔均沿X向错位排列;上气孔、下气孔沿Z向的高度均大于高度值h。本发明可独立调控等离子体气流分布与等离子体能量。
天眼查资料显示,上海稷以科技有限公司,成立于2015年,位于上海市,是一家以从事科技推广和应用服务业为主的企业。企业注册资本475.5886万人民币。通过天眼查大数据分析,上海稷以科技有限公司共对外投资了6家企业,参与招投标项目89次,财产线条,此外企业还拥有行政许可14个。
声明:市场有风险,投资需谨慎。本文为AI基于第三方数据生成,仅供参考,不构成个人投资建议。
特别声明:以上内容(如有图片或视频亦包括在内)为自媒体平台“网易号”用户上传并发布,本平台仅提供信息存储服务。
“有人花7万元打了83支玻尿酸”,多家医美机构可“造腹肌”,医生:有栓塞风险
上海宣布重要方案:改变规则!每天连续开放14小时,在店里直接摇,中了马上用
叶挺坠机身亡,周总理怀疑是特务干的,60年后台湾一老人道出线年娃,公婆从未露面,如今却要来养老,看着空荡荡的家傻眼了
建议收藏|2027英本申请时间轴官宣!UCAS关键节点梳理,附G5名校雅思/规划方案
